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大型磁控溅射+蒸发镀膜机
作者:索佳真空   发布日期:2012-11-22 16:19:04   点击:5440

 

详细介绍

应用于塑料制品、陶瓷、树脂、塑料餐具、大型车标、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业。 该系列设备主要是使用直流(或中频)磁控溅射,可适应广泛镀膜靶材,如:铜、钛、铬、不绣钢、镍等金属材料,可以利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。主机控制采用可编程序控制器(PLC+触摸屏(HMI)组合电气控制系统。全自动控制,配置先进大功率磁控电源,恒流输出,克服靶中毒。

技术参数说明

设备型号

SJ-1200

SJ-1400

SJ-1600

SJ-2250

真空室尺寸

1200×1500

1400×1950

1600×2000

2250×2900

制膜种类

多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等

电源类型

直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源

圆柱靶

直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶

真空室结构

立式双开门、立式单开门

真空系统

滑阀泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵

充气系统

质量流量控制仪(1-4路)

极限真空

6×104pa(空载、净室)

抽气时间

空载大气抽至5×103pa小于15分钟

工件旋转方式

6/8/9轴公自转/变频无级调速

控制方式

手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC

备注

真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

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