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SJ-JSX系列箱式磁控溅射镀膜设备

SJ-JSX系列箱式磁控溅射镀膜设备是一种小型多功能、智能高效的镀膜设备。主要针对小型玻璃基片工作。适合科研单位、实验室和小型高精度元件的制作。可按用户要求配置小型圆柱靶、小型矩形平面耙，组态灵活，主要用于金属或玻璃的工件镀铝、铜、铬、钛金、银及不锈钢等金属膜或非金属膜，可广泛用于表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。

可按用户要求配置：
　

型号	SJ-CKX-400	SJ-CKX-500	SJ-CKX-600
镀膜室内尺寸	Ф400X450	Ф500X550	Ф600X650
极限真空	10-4Pa	10-4Pa	10-4Pa
抽气时间	常温抽至5X10-3Pa,小于15分钟
溅射靶	一（二、三）圆柱靶或者一（二、三）平面靶
溅射方式	从上往下溅或者从下往上溅
烘烤方式	碘钨灯加热或管状加热器
高压轰击	3000V 600MA	3000V 600MA	3000V 300MA
真空系统	闸板阀+分子泵+直联泵（可以按客户要求配制）
配置可以由用户选配，并可由用户订造其他规格。