型号

Φ1300×1500

极限真空度

2.8×10-4Pa

恢复真空

从大气抽至3×10-3Pa≤15min

基片烘烤

采用上烘烤，功率18KW最高温度350℃，两组控温。

电阻蒸发电极

2对，功率5KW/组，单源交替蒸发

电子枪蒸发源

2只  功率6KW/只

真空系统

2-K-600型油扩散泵+ ZJP-300型罗茨泵+2X-70型机械泵

电源

220V/380V   50Hz

总功率

40KW

耗水

约30L/min

气压

5~6MPa

总重量

（包括控电柜）约5吨

主机外形尺寸

1350×3000×2800（宽×深×高）