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SJ-JSL系列立式磁控溅射镀膜设备

    SJ-JSL系列立式磁控溅射镀膜设备是一种多功能、高效的镀膜设备。可根据用户要求配置旋转磁控耙、平面磁控耙,组态灵活、用途广泛,主要用于金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷等)的工件镀铝、铜、铬、钛金、银及不锈钢等金属膜或非金属膜,所镀膜层均匀、致密、附着力强等特点,可广泛用于家电电器、钟表、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。

  
 
 可按用户要求配置:
 

型号

SJ-CKL-1200

SJ-CKL-1600

SJ-CKL-1800

镀膜室内尺寸

Ф1200X1500

Ф1600X1800

Ф1800X2000

极限真空

10-4Pa

10-4Pa

10-4Pa

抽气时间

  常温抽至6.6X10-2Pa,小于8分钟

蒸发源(选配)

  电阻蒸发4对电极或者2组电极

溅射靶

 一(二)组旋转靶或者一(二)组平面靶或者旋转靶和平面靶套用

高压轰击

3000V 600MA

3000V 600MA

3000V 300MA

工件旋转方式

  公自转变频调速

自动控制PLC及触摸屏

配置可以由用户选配,并可由用户订造其他规格。

 

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