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SJ-JSL系列立式磁控溅射镀膜设备
SJ-JSL系列立式磁控溅射镀膜设备是一种多功能、高效的镀膜设备。可根据用户要求配置旋转磁控耙、平面磁控耙,组态灵活、用途广泛,主要用于金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷等)的工件镀铝、铜、铬、钛金、银及不锈钢等金属膜或非金属膜,所镀膜层均匀、致密、附着力强等特点,可广泛用于家电电器、钟表、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。
型号
SJ-CKL-1200
SJ-CKL-1600
SJ-CKL-1800
镀膜室内尺寸
Ф1200X1500
Ф1600X1800
Ф1800X2000
极限真空
10-4Pa
抽气时间
常温抽至6.6X10-2Pa,小于8分钟
蒸发源(选配)
电阻蒸发4对电极或者2组电极
溅射靶
一(二)组旋转靶或者一(二)组平面靶或者旋转靶和平面靶套用
高压轰击
3000V 600MA
3000V 300MA
工件旋转方式
公自转变频调速
自动控制PLC及触摸屏
配置可以由用户选配,并可由用户订造其他规格。
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